文件說明

儀器設備介紹

Instrument categories, access requirements, reservation notes, and training paths for shared ACEDM tools.

設備與空間總覽

依樓層了解研究空間、主要設備、使用資格與預約前注意事項。

1F R108 黃光區與微影設備

了解 1F R108 黃光區配置、微影設備與使用前準備。

2F R212 製程設備

了解 2F R212 空間配置、高溫、鍍膜、蝕刻與特殊環境設備。

3F R300 後棟製程設備

了解 3F R300 後棟的深反應離子蝕刻、ALD、接合與後段製程設備。