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儀器設備介紹
儀器設備介紹
依樓層與設備類別了解共享儀器、使用資格、訓練與預約注意事項。
文件目錄
設備與空間總覽
依樓層了解研究空間、主要設備、使用資格與預約前注意事項。
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(設備與空間總覽)
1F R108 黃光區與微影設備
了解 1F R108 黃光區配置、微影設備與使用前準備。
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(1F R108 黃光區與微影設備)
2F R212 製程設備
了解 2F R212 空間配置、高溫、鍍膜、蝕刻與特殊環境設備。
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(2F R212 製程設備)
3F R300 後棟製程設備
了解 3F R300 後棟的深反應離子蝕刻、ALD、接合與後段製程設備。
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(3F R300 後棟製程設備)
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